電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（簡稱ICP-MS）是一種廣泛應用于地球科學、環(huán)境科學、生命科學和材料科學等領域的分析儀器。它結(jié)合了電感耦合等離子體源（ICP）和高靈敏度的質(zhì)譜檢測器，能夠同時測定多種元素的含量和同位素組成。
工作原理是將待測樣品轉(zhuǎn)化為氣態(tài)離子，然后經(jīng)過選擇性分離和檢測。首先，樣品通過噴霧裝置進入ICP源，其中包含高溫和穩(wěn)定的等離子體，使樣品中的原子被激發(fā)和電離。接著，離子在通過四極桿或磁場篩選器進行分離和聚焦，最終到達質(zhì)譜檢測器進行檢測。
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀具有許多優(yōu)點，如高的檢測限、高的選擇性、準確性和可靠性。此外，它還可以同時測定多個元素和同位素，其檢測范圍從質(zhì)量數(shù)1到300不等。因此，ICP-MS已成為許多應用領域關鍵的分析工具，例如研究地球元素分布、環(huán)境污染、生命科學和材料科學等。
然而，ICP-MS也存在一些限制。首先，它需要高度凈化的樣品，這意味著必須采用嚴格的前處理和樣品準備方法。其次，ICP-MS的設備和維護成本較高，并需要專業(yè)的操作和維護。最后，ICP-MS可能受到干擾，如同位素分餾、多重電離和內(nèi)部標記效應等，這可能會影響準確性和可靠性。
總之，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀是一種非常強大的分析工具，已經(jīng)被廣泛應用于各個領域。隨著技術(shù)的發(fā)展，ICP-MS的檢測靈敏度和準確性將進一步提高，同時也需要我們在實際應用中不斷探索和解決其存在的問題。
